光罩
結構
- 實體結構:佈滿積體電路圖像的鉻金屬薄膜的石英玻璃片上的圖像。
- 倍縮光罩(Reticle):在投影式光刻机中,掩模作为一个光学元件位于会聚透镜(condenser lens)与投影透镜(projection lens)之间,它并不和晶圆有直接接触。掩模上的图形缩小4~10倍(现代光刻机一般都是缩小4倍)后透射在晶圆表面。为了区别接触式曝光中使用的掩模,投影式曝光中使用的掩模又被称为倍缩式掩模(reticle)。
- 光罩(Mask):當鉻膜玻璃上的圖像能覆蓋整個晶圓時稱之為光罩。
種類
相位移光罩、二元光罩
参考文献
- . [2010-03-19]. (原始内容存档于2010-10-03).
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