薄膜生长技术
薄膜
的生长
是
半导体
制造中一项重要的工艺。薄膜生长技术总的来说可以分为物理方法和化学方法。常见的薄膜生长技术包括：
热氧化法
物理气相沉积
化学气相沉积
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