重氮萘醌

重氮萘醌英語:)是萘醌重氮衍生物。 一旦曝光,它将经历沃尔夫重排反应以形成烯酮[1]在半导体行业中,各种重氮萘醌的衍生物可被用作光刻胶的感光劑。

重氮萘醌
IUPAC名
2-Diazo-2H-naphthalen-1-one
别名 1,2-Naphthoquinone diazide
识别
CAS号 879-15-2
PubChem 9815339
ChemSpider 7991089
SMILES
InChI
InChIKey URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYAU
性质
化学式 C10H6N2O
摩尔质量 170.17 g·mol−1
若非注明,所有数据均出自一般条件(25 ℃,100 kPa)下。

在半导体制造的過程中,重氮萘醌的磺酸酯通常會用作光刻胶材料中的正性感光劑。[2][3]在这种应用中,重氮萘醌會與酚醛树脂混合,以作为溶解抑制剂。在曝光的过程中,部分光刻胶膜會暴露在光线下,而其他部分則不會。在未曝光的區域裡,含有重氮萘醌的光刻胶膜仍然會不溶于水基顯影液中。 而在曝光的區域裡,重氮萘醌會形成烯酮,由此再与环境中的水形成可溶於鹼的羧酸。光刻胶膜中已曝光的區域因而可溶于鹼性溶劑,從而將光刻膠層中的圖形顯現出來。

参考文献

  1. N. C. de Lucas; J. C. Netto-Ferreira; J. Andraos; J. C. Scaiano. . J. Org. Chem. 2001, 66 (5): 5016–5021. PMID 11463250. doi:10.1021/jo005752q.
  2. Chemical Information Review Document for Diazonaphthoquinone Derivatives Used in Photoresists, National Toxicology Program, January 2006
  3. Integrated Circuits: A Brief History
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